【財新網】日本對華半導體制造設備出口管制落地。當地時間5月23日,日本政府正式出口管制規定,限制23種高性能半導體制造設備出口,新規將在7月23日施行。
據日本經濟產業省的細則,23種管制物項中,3種關于半導體清洗,11種關于成膜,4種關于光刻,3種關于蝕刻,1種關于檢查,多為設備和設備中的零部件,并設定了標準。納入管制的物項包括:為制造使用了極紫外線的集成電路,使涂層的涂膠、成膜、加熱或顯影的設備;達到一定標準的干法蝕刻設備;對晶圓進行表面改性,然后進行干燥的葉式濕洗裝置等。

【財新網】日本對華半導體制造設備出口管制落地。當地時間5月23日,日本政府正式出口管制規定,限制23種高性能半導體制造設備出口,新規將在7月23日施行。
據日本經濟產業省的細則,23種管制物項中,3種關于半導體清洗,11種關于成膜,4種關于光刻,3種關于蝕刻,1種關于檢查,多為設備和設備中的零部件,并設定了標準。納入管制的物項包括:為制造使用了極紫外線的集成電路,使涂層的涂膠、成膜、加熱或顯影的設備;達到一定標準的干法蝕刻設備;對晶圓進行表面改性,然后進行干燥的葉式濕洗裝置等。
京公網安備 11010502034662號 
